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第709章:中国光刻机的希望(3/3)

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&esp;&esp;没想到,在光刻机领域竟然还有一位华人大拿。

&esp;&esp;这一次,他倒要认真的听了。

&esp;&esp;但可惜。

&esp;&esp;虽然林本艰会说中文,但在这样的全球性研讨会上,演讲用的还是英语。

&esp;&esp;与此前一样,陈宇也感觉在听天书。

&esp;&esp;听了好一会,陈宇只听到干式,湿式什么的。

&esp;&esp;“张总,那个林本艰说的干式和湿式是什么意思?”

&esp;&esp;“说的是生产光刻机的一种技术工艺,目前我们大部分普遍用的是干式光刻机生产工艺。也就是用空气做为镜头与晶圆间的介质,让光罩上的图形在晶圆上成象。不过,这个林本艰觉得,还可以用一种湿式工艺。”

&esp;&esp;“什么是湿式?”

&esp;&esp;“他说的这个湿式名字叫做浸润式,与湿式差不多。但用的介质却不一样,我们一般现在用的是空气,而林本艰提成了用水做为浸润式的介质。”

&esp;&esp;“水?”

&esp;&esp;听到水这个词,陈宇陈宇有些激动。

&esp;&esp;记得前世,其实在开始之初,荷兰asl与德国,与日本几大光刻机公司实力都差不多。

&esp;&esp;为什么后来asl却是一统天下,完全与这一些光刻机公司选择的路线有关。

&esp;&esp;当时日本,德国,包括美国这一些光刻机公司路线选择出错。

&esp;&esp;而asl却是花重金开辟了另一条光刻机生产工艺。

&esp;&esp;这个工艺,就涉及到水,也就是林本艰现在提到的浸润式。

&esp;&esp;“您觉得他的这个工艺有没有前途?”

&esp;&esp;陈宇不是很懂技术,但却知道,这是决定未来光刻机命运的时刻。

&esp;&esp;在前世2008年之后,全球90以上生产出来的芯片,用的都是林本艰所提出来的湿式 本章已阅读完毕(请点击下一章继续阅读!)

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