注了?是你提出的方案。华科院那边提交这工程时，顺便提了?一嘴你忙碌一年多的光刻机研发，上面多少留意到你们的革芯项目。”

盛明安睁大眼，手指蜷起握成?拳头，挺惊喜的问：“资金支持吗？”

“……”张群芳：“有这么缺钱？”

盛明安：“缺研发资金。”

如果盛明安站在跟前，张群芳估计得对着他指指点点，他没好气?的说：“只?要是正儿?八经搞科研的，有成?果的，经费肯定会拨下来?。”

盛明安弯起眼：“谢谢教授。”

张群芳：“没什么事我挂了?。”

盛明安：“教授再见。”

通话结束，之后还有潘教授、朱教授等人打电话安慰盛明安，足见他们有多关心这棵天才苗子了?。

蓝河科技研发部，一尘不染的恒温实验室内，盛明安位于?主?位，身后是雷客、杜颂等人，他们都穿着白色防尘衣，攥紧拳头牢牢盯住屏幕的光刻机仿真建模。

组装、封装，启动激光器，紫色激光发射，击中模拟锡液滴，高强度等离子体发出euv光源被收集镜捕获汇聚形成?光源，光源集中、传递至光刻系统，经光刻系统一系列步骤曝光晶片。

euv光源系统现?实工作，激光发射击中锡液滴这一过程是每秒五万次，而在仿真建模中，为方便观察，数据比例修改后变成?肉眼可观测。

仿真建模观测一小时后，放大雕刻后的晶片，宛如一个个充满未来?感的城市。

杜颂吞咽口水，紧张问：“怎么样？”

雷客屏住呼吸：“仿真实验结果和当?初预料结果一致，如无意外?，方案可行。”

身后传来?一阵激动的欢呼声，不过很快压下来?，众人纷纷看向没开口的盛明安，他才是实验室的主?心骨，他点头了?才算实验成?功！

但不可避免的，他们此?刻的心脏仿佛被吊到嗓子眼，紧张得几乎不能呼吸。

无他，因为眼前的仿真建模是他们耗费三年、将近四年的成?果！

无数日?夜的数据优化?、改进，从光源系统到光刻系统，从激光器到复杂的双工作台，从反射镜到晶圆等部件材料，海量的数据和磅礴的公式计算，一千多个日?夜的心血全数系在这一刻！

盛明安盯着右手边的光屏，那是光源优化?仿真实验结果，结果表明优化?后的光源图形和收敛曲线与预料一致，说明——

“方案可行。”

星晓[13] 红头文件。

方案可行意味着?他们研发高阶光刻机的方向是对的！

不?仅仅是解决了复杂的光源系统,更意味着?他们可以组装出?完整的高阶光刻机系统 本章尚未完结,请点击下一页继续阅读---->>>

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