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“潘院士,设备方面你们就多操操心咯。”
曹阳肯定是支持章京的观点。
谢灵云肯定也是希望韶钢气体能够发展壮大,这样子南山特殊钢的影响力也会更大。
不过,这需要南山设备去研发更多种类的相关设备才行。
“电子特种气体与传统工业气体的区别在于纯度更高或者具有特殊用途,比如如参与化学反应。”
“这么一来,对生产设备的要求就要高很多,这也是为什么国内之前半导体行业用的电子特气大部分都是需要进口的原因。”
“我们要去研究生产这些设备,自然是能够搞出来的。”
“不过我觉得还是可以选择性的针对一些气体来发力,要不然所有的气体都自己生产的话,性价比反而不一定更高。”
“有一些相对成熟的气体以及生产这些气体的设备,其他厂家也能搞定。”
潘金兴是理解大家的需求的。
不过他也不想完全把这些活给揽下来。
毕竟有一些市场很小,已经有其他不错的国产厂家在里头玩的话,南山设备就没有必要去凑热闹了。
对于潘金兴的这个说法,章京也基本上是认可的。
“通常电子特气的纯度要求必须达到5n及以上级别,n代表纯度百分比中9的个数。”
“晶圆制造对电子特气的纯度要求更为严格,一般要求大于6n。”
“例如在晶圆制造过程中沉积成膜工段的硅烷特种气体纯度要求达到8n及以上。”
“除此之外,配比精度是针对混配气体的核心参数,即精准控制不同气体的混配比额,行业内一般以pp、ppb、ppt以及百分数来表示组分配比。”
“如果杂质含量过高,轻则导致下游相关批次产品质量不达标,重则扩散污染整条生产线,造成高额损失。”
“越是制程先进的生产线,对于电子特气的质量要求就越高。”
“目前我们南山半导体的芯片制程已从过去的60n、28n发展到目前先进的14n,对应电子特气中的污染粒子体积也要缩小许多倍以上,才能确保晶圆不受污染,保持输出产品的良品率。”
“这种情况下,有针对性的生产高端的电子特气,把中低端的市场交给国内的其他厂家也是可以的。”
半导体产业需要用到的电子特气太多了,并不是所有的气体华夏的厂家都是搞不定的。
所以章京也支持潘金兴的想法,不需要韶钢气体那边 本章尚未完结,请点击下一页继续阅读---->>>
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